碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种。
一、碳化硅的前世今生
碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好,除作磨料用外,还有很多其他用途。
例如:以特殊工艺把碳化硅粉末涂布于水轮机叶轮或汽缸体的内壁,可提高其耐磨性而延长使用寿命1~2倍;用以制成的高级耐火材料,耐热震、体积小、重量轻而强度高,节能效果好。
低品级碳化硅(含SiC约85%)是极好的脱氧剂,用它可加快炼钢速度,并便于控制化学成分,提高钢的质量。此外,碳化硅还大量用于制作电热元件硅碳棒。
碳化硅的硬度很大,莫氏硬度为9.5级,仅次于世界上最硬的金刚石(10级),具有优良的导热性能,是一种半导体材料,高温时能抗氧化。
碳化硅历程表 | |
1905年 | 第一次在陨石中发现碳化硅 |
1907年 | 第一只碳化硅晶体发光二极管诞生 |
1955年 | 理论和技术上重大突破,LELY提出生长高品质碳化概念,从此将SiC作为重要的电子材料 |
1958年 | 在波士顿召开第一次世界碳化硅会议进行学术交流 |
1978年 | 六、七十年代碳化硅主要由前苏联进行研究。到1978年首次采用“LELY改进技术”的晶粒提纯生长方法 |
1987年~至今 | 以CREE的研究成果建立碳化硅生产线,供应商开始提供商品化的碳化硅基。 |
二、碳化硅器件的优势特性
碳化硅(SiC)是目前发展最成熟的宽禁带半导体材料,世界各国对SiC的研究非常重视,纷纷投入大量的人力物力积极发展,美国、欧洲、日本等不仅从国家层面上制定了相应的研究规划,而且一些国际电子业巨头也都投入巨资发展碳化硅半导体器件。与普通硅相比,采用碳化硅的元器件有如下特性:高压特性;高频特性;高温特性。
三、目前碳化硅器件发展情况如何?
1、技术参数:举例来说,肖特基二极管电压由250伏提高到1000伏以上,芯片面积小了,但电流只有几十安。工作温度提高到180℃,离介绍能达600℃相差很远。压降更不尽人意,与硅材料没有差别,高的正向压降要达到2V。
2、市场价格:约为硅材料制造的5到6倍。
四、碳化硅(SiC)器件发展中的难题在哪里?
碳化硅器件发展中的难题不在芯片的原理设计,特别是芯片结构设计解决好并不难。难在实现芯片结构的制作工艺。
举例如下:
1、碳化硅晶片的微管缺陷密度。
2、外延工艺效率低。
3、掺杂工艺有特殊要求。
4、欧姆接触的制作。
5、配套材料的耐温。
以上仅举数例,不是全部。还有很多工艺问题还没有理想的解决办法,如碳化硅半导体表面挖槽工艺、终端钝化工艺、栅氧层的界面态对碳化硅MOSFET器件的长期稳定性影响方面,行业中还有没有达成一致的结论等,大大阻碍了碳化硅功率器件的快速发展。
五、碳化硅主要应用领域的发展概况
目前,第3代半导体材料正在引起清洁能源和新一代电子信息技术的革命,无论是照明、家用电器、消费电子设备、新能源汽车、智能电网、还是军工用品,都对这种高性能的半导体材料有着极大的需求。
根据第3代半导体的发展情况,其主要应用为半导体照明、电力电子器件、激光器和探测器、以及其他4个领域。
1、半导体照明
在4个应用领域中,半导体照明行业发展最为迅速,已形成百亿美元的产业规模。
2、电力电子器件
在电力电子领域,宽禁带半导体的应用刚刚起步,市场规模仅为几亿美元。其应用主要集中在军事尖端装备领域,正逐步向民用领域拓展。
3、激光器和探测器
在激光器和探测器应用领域,GaN基激光器可以覆盖到很宽的频谱范围,实现蓝、绿、紫外激光器和紫外探测的制造。
4、其他应用
在前沿研究领域,宽禁带半导体可用于太阳能电池、生物传感器、水制氢媒介、及其他一些新兴应用,目前这些热点领域还处于实验室研发阶段。